Hauptmerkmale

1. Beschichtender Raum: vertikales Einzelzimmer, Multiraum oder horizontales einzelnes, Multikammerstrukturauswahl,
 
Material des Edelstahls 304, der Flankendurchmesser der Unterdruckkammer ist 800mm- 3500mm, mit Wasser
 
abkühlende Struktur, etc.
 
 
2. Vakuum-Anlage: mechanische Pumpe, Drehschieberpumpe, Wurzeln pumpen, molekulare Pumpe, niedrige Temperatur
 
Pumpe, Hochvakuumöl-Diffusionspumpe mit kaltem Brunnen, Hochvakuumöl-Diffusionspumpe, nehmen Edelstahl an
 
Rohr und Ventil;
 
 
3. Anstrichsystem: 2 Sätze von 2-10 Sätzen des flachen Ziels oder des Spaltenziels, spritzendes DC-Magnetron, DC+RF
 
spritzendes Magnetron, HDAP-Beschichtung.
 
 
4. Aufblasen des Systems: 1-4 GasStrömungsmesser- und Durchflussanzeigersteuerung;
 
 
5. Kontrollsystem: Touch Screen, PLC-, automatische und manuellesteuerung können jederzeit umgewandelt werden. Wirklich
 
Zeitanzeige führte Parameter, die vollautomatische Steuerung des gesamten Produktionsverfahrens einzeln auf, automatisch
 
Speicherprozeßparameter. Die elektrischen hauptsächlichkomponenten sind berühmte Marken wie Schneider.
 
 
6. Sicherheitssystem: Gründen des Tones und hellen des Warnungsgerätes der Wasser-, Strom- und Gasabweichung und
 
Implementierung von entsprechenden Schutzverfahren;
 
 
7. Zusätzliches Pumpen: eine schnelle verteilende Wasserdampffalle der niedrigen Temperatur;
 
 
8. Heizsystem: die Temperatur der Grundplatte kann 350 Grad mit dem Rohr und anderem erreichen
 
Heizelemente;
 
 
9. Kann mit mehrfachen Zielquellen entsprechend Kundenanforderungen ausgerüstet werden;