UVschutz-Film-Linsen-harte Beschichtungs-Maschine mit Dicken-Kontrollsystem

AUF Vakuumbeschichtungs-Maschine der UVschutz-Film-Verdampfungs-optischer PVD

 
1. Heizungs- und Backensystem: nehmen Sie eine Edelstahlrohrheizfläche, die Substrattemperatur kann an
 
erreichen Sie 350 Grad, das Temperaturüberwachungsmeter annimmt das japanische leitfähige Instrument,
 
Temperaturüberwachungspräzision ist plus oder minus 1 Grads Celsius.
 
 
2. Dickensteuerung: Schwingquarzdicken-Überwachungsanlage, die steuern kann
 
Verdunstungsrate der Elektronenkanone, steuern genau die Dicke und schalten automatisch leicht
 
und automatisch.
 
 
3. Der Beschichtungsraum: vertikale einzelne Tür oder horizontale Strukturauswahl, volles Edelstahlmaterial,
 
Unterdruckkammer des Flankendurchmessers 800 Millimeter bis 2000 Millimeter, doppelwandige Wasserkühlungsstruktur,
 
mit Steckverbindung in der Holzschutzedelstahlplatte, einfach zu säubern und Operation, etc.
 
 
4. Werkstückrahmen: generische Integral- oder Regenschirmstruktur oder besonders angefertigt nach Ansicht des Kunden
 
Anforderungen, justierbar mit Frequenzumsetzer, justierbare Geschwindigkeit.
 
 
5. Die Vakuum-Anlage: mechanische Pumpe, Drehschieberpumpe, wurzelt Pumpe, die molekulare Pumpe, kälteerzeugend
 
pumpen Sie, mit der kalten Falle des großen Abluftsystems der pumpenden Geschwindigkeit der Hochvakuumöl-Diffusionspumpe,
 
optionale ölfreie Vakuumpumpe der Schutzträgerpumpe, Edelstahlrohre und Ventile.
 
 
6. Das Anstrichsystem: der 1 Satz - sechs Sätze starker magnetischer Ablenkung 270 ° e Elektronenkanone und
 
Mehrfachtiegel, unterstützte AbsetzungsSystemkonfigurations-Hallenionenquelle und Widerstand von
 
Verdampfungsquelle.
 
 
7. Aufblasen des Systems: automatischer Gasdurchflussmesser und Flussanzeigeninstrumentsteuerung.
 
 
8. Kontrollsystem: Farbtouch Screen, PLC-, automatische und manuellesteuerung können an irgendwelchen umgewandelt werden
 
Zeit. Realzeitanzeige führte Parameter, vollautomatische Steuerung des gesamten Produktionsverfahrens einzeln auf,
 
automatisches Speicherprozeßparameter. Die elektrischen hauptsächlichkomponenten sind berühmte Marken wie
 
Schneider.
 
 
9. Sicherheitssystem: Gründen des akustischen optischen Warnungsgerätes der Wasser-, Strom- und Gasabweichung und
 
Implementierung des entsprechenden Schutzverfahrens.
 
 
 

 
 
ist traditionelles vertikales 1.The oder leistungsfähiges horizontales, ausgerüstet mit großem Tiegelgewehr, die Filmoberfläche glatt
 
und Einheitlichkeit;
 
2.Equipped mit starker Ionenquelle, verbessern die Beschichtungsqualität und die Leistungsfähigkeit;
 
Dickensteuergerät des Schwingquarzes 3.Equipped, kann die filmbildende Rate verwirklichen und automatisch
 
prozesskontrolliert;
 
Entwurf 4.The der Struktur kann die Nachfragen der Vakuumtechnik, Vakuum-Anlage befriedigen annehmen Freiöl
 
das System, zum der ganzen Systemarbeit unter keiner Ölbedingung sicherzustellen, stellen den sauberen Film sicher;
 
Verriegelungsschutz des Vakuum 5.The von Betriebssystem, Vakuumpumpe mit Wasser, Stromausfallwarnung
 
Funktion;
 
Schirm 6.Touch und PLC steuern, verwirklichen die parametrischen Einstellungen, die Echtzeitüberwachung und die intelligente Störung
 
Diagnose.