1. Vakuumbeschichtungsraum: vertikales Einzelzimmer, Multiraum oder horizontale sondern, Multikammerstruktur aus

Auswahl, Material des Edelstahls 304, der Flankendurchmesser der Unterdruckkammer ist 800mm- 3500mm,

mit Wasserkühlungsstruktur, etc.

2. Vakuum-Anlage: mechanische Pumpe, Drehschieberpumpe, wurzelt Pumpe, molekulare Pumpe, niedrige Temperatur

pumpen Sie, Hochvakuumöl-Diffusionspumpe mit Kälte gut, Hochvakuumöl-Diffusionspumpe, nehmen Sie Edelstahl an

Rohr und Ventil.

3. Anstrichsystem: 2 Sätze von 2-10 Sätzen des flachen Ziels oder des Spaltenziels, spritzendes DC-Magnetron, DC+RF

spritzendes Magnetron, HDAP-Beschichtung.

4. Aufblasen des Systems: 1-4 GasStrömungsmesser- und Durchflussanzeigersteuerung.

5. Kontrollsystem: Touch Screen, PLC-, automatische und manuellesteuerung können jederzeit umgewandelt werden. Wirklich

setzen Sie Zeit Anzeige ausführlichen Parameter, der vollautomatischen Steuerung des gesamten Produktionsverfahrens fest, automatisch

Speicherprozeßparameter. Die elektrischen hauptsächlichkomponenten sind berühmte Marken wie Schneider.

6. Sicherheitssystem: Gründen des Ton- und Lichtwarnungsgerätes der Wasser-, Strom- und Gasabweichung und

Implementierung von entsprechenden Schutzverfahren.

7. Hilfspumpen: eine schnelle verteilende Wasserdampffalle der niedrigen Temperatur.

8. Heizsystem: die Temperatur der Grundplatte kann 350 Grad mit dem Rohr und anderem erreichen

Heizelemente.

9. Kann mit mehrfachen Zielquellen entsprechend Kundenanforderungen ausgerüstet werden.