1. Vakuumbeschichtungsraum: vertikales Einzelzimmer, Multiraum oder horizontale sondern, Multikammerstruktur aus
 
Auswahl, Material des Edelstahls 304, der Flankendurchmesser der Unterdruckkammer ist 800mm- 3500mm,
 
mit Wasserkühlungsstruktur, etc.
 
 
2. Vakuum-Anlage: mechanische Pumpe, Drehschieberpumpe, wurzelt Pumpe, molekulare Pumpe, niedrige Temperatur
 
pumpen Sie, Hochvakuumöl-Diffusionspumpe mit Kälte gut, Hochvakuumöl-Diffusionspumpe, nehmen Sie Edelstahl an
 
Rohr und Ventil;
 
 
3. Anstrichsystem: 2 Sätze von 2-10 Sätzen des flachen Ziels oder des Spaltenziels, spritzendes DC-Magnetron, DC+RF
 
spritzendes Magnetron, HDAP-Beschichtung.
 
 
4. Aufblasen des Systems: 1-4 GasStrömungsmesser- und Durchflussanzeigersteuerung;
 
 
5. Kontrollsystem: Touch Screen, PLC-, automatische und manuellesteuerung können jederzeit umgewandelt werden. Wirklich
 
setzen Sie Zeit Anzeige ausführlichen Parameter, der vollautomatischen Steuerung des gesamten Produktionsverfahrens fest, automatisch
 
Speicherprozeßparameter. Die elektrischen hauptsächlichkomponenten sind berühmte Marken wie Schneider.
 
 
6. Sicherheitssystem: Gründen des Ton- und Lichtwarnungsgerätes der Wasser-, Strom- und Gasabweichung und
 
Implementierung von entsprechenden Schutzverfahren;