1. Die Vakuum-Anlage: mechanische Pumpe, Drehschieberpumpe, wurzelt Pumpe, die molekulare Pumpe, kälteerzeugend
pumpen Sie, mit der kalten Falle des großen Abluftsystems der pumpenden Geschwindigkeit der Hochvakuumöl-Diffusionspumpe,
optionale ölfreie Vakuumpumpe der Schutzträgerpumpe, Edelstahlrohre und Ventile.
2. Das Anstrichsystem: der 1 Satz - sechs Sätze starker magnetischer Ablenkung 270 ° e Elektronenkanone und
Mehrfachtiegel, unterstützte AbsetzungsSystemkonfigurations-Hallenionenquelle und Widerstand von
Verdampfungsquelle.
3. Aufblasen des Systems: automatischer Gasdurchflussmesser und Flussanzeigeninstrumentsteuerung.
4. Kontrollsystem: Farbtouch Screen, PLC-, automatische und manuellesteuerung können an irgendwelchen umgewandelt werden
Zeit. Realzeitanzeige führte Parameter, vollautomatische Steuerung des gesamten Produktionsverfahrens einzeln auf,
automatisches Speicherprozeßparameter. Die elektrischen hauptsächlichkomponenten sind berühmte Marken wie
Schneider.
5. Sicherheitssystem: Gründen des akustischen optischen Warnungsgerätes der Wasser-, Strom- und Gasabweichung und
Implementierung des entsprechenden Schutzverfahrens.
6. Heizungs- und Backensystem: nehmen Sie eine Edelstahlrohrheizfläche, die Substrattemperatur kann an
erreichen Sie 350 Grad, das Temperaturüberwachungsmeter annimmt das japanische leitfähige Instrument,
Temperaturüberwachungspräzision ist plus oder minus 1 Grads Celsius.
7. Dickensteuerung: Schwingquarzdicken-Überwachungsanlage, die steuern kann
Verdunstungsrate der Elektronenkanone, steuern genau die Dicke und schalten automatisch leicht
und automatisch.
8. Elektronenkanone und die Verdampfungsquelle: ElektronenkanoneEnergiequelle nimmt die Netzfrequenz an
Spannungsanstieg, Stromkreise der digitalen Steuerung, funkend mit automatischem Hochdruckschutz, Wiederherstellung und
stabile Strahlnfunktion, Fernbedienung, kann commune mit Schwingquarzstärkemeter, Beschichtungsverfahren
Steuerung.
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